Enhancing the linear dynamic range of a mode-localized MEMS mass sensor with repulsive electrostatic actuation
| Autor(en): |
Toky Harrison Rabenimanana
Vincent Walter
Najib Kacem Patrice Le Moal Gilles Bourbon Joseph Lardies |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, 14 Mai 2021, n. 7, v. 30 |
| Seite(n): | 07LT01 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ac075b |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10609245 - Veröffentlicht am:
08.06.2021 - Geändert am:
26.08.2021
Structurae kooperiert mit
