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Pre-stressed piezoelectric bimorph micro-actuators based on machined 40 µm PZT thick films: batch scale fabrication and integration with MEMS

Autor(en):


Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 9, v. 19
Seite(n): 094001
DOI: 10.1088/0964-1726/19/9/094001
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10224271
  • Veröffentlicht am:
    02.12.2018
  • Geändert am:
    02.12.2018
 
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